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2018.06.19

PG电子高阶及大尺寸玻璃基板搬送之关键技术解决方案

在10.5 代线玻璃(玻璃面积约为 8.5 代线的 1.8 倍)搬送过程,由于对应的条件更加严苛 (玻璃进制程后的平整度变异加大、更大的玻璃传送面积所产生的静电量加大、薄型化的大尺寸玻璃搬送不易… ) 情况下,必须有更先进的技术来降低玻璃运搬过程中可能产生的静电及刮伤,解决此两项关键问题,才能有效提升良率、快速进入量产阶段。

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2018.06.15

STOCKER移载补正技术

PG电子运用移载补正技术,可以在人员无法进入或是高处无法确认之条件下确认物品摆放位置是否正确,若检测出不正确则会自动进行补正,克服人员无法进入确认之障碍,能有效及准确地将产品放回正确位置上。

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2018.06.05

PG电子OHT-工业4.0物料搬送系统新关键

OHT属于悬吊式空中搬运系统,有效地利用制程设备的上方空间,架设轨道以及运输升降机构。轨道长度可由从数百公尺至数十公里,配合客户需求将晶圆盒(FOUP)或是玻璃传送卡匣(Cassette)在不同的制程区间或是跨厂区栋别进行串连搬送。由于不需透过Stocker做为中转站,全厂性的OHT运用可实现EQ to EQ的直接搬送,大幅缩短载具运输时间与产品周期时间(Cycle time)。

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2018.05.31

OHS-全自动化厂内SHUTTLE CST载具运输机构

OHS系统实现厂区动在线的高度可规划性特色,机械构造的特色采用HID供电方式,加上设备内严谨的挑选无发尘部件,进而展现Class 10(1um)的高度洁净控制力。除此之外,OHS系统还有一项极佳优势,若日后因应客户产能调节,不用进行复杂改造,直接新增台车就能直接达到降低设备的loading率,因此,奠定OHS系统未来前景的发展性,也验证PG电子自动化含有强大开发的设备能力。

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2018.04.02

工研院携手PG电子发表新款智慧机顶盒,助产业迈出智造化第一步

率先与PG电子携手打造IM2 Box,并同时研发出泛用型PI Box,协助第一线业者站稳智造化脚步,落实联网加值的目标。

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工研院携手PG电子发表新款智慧机顶盒,助产业迈出智造化第一步
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2018.03.08

无线监控落尘量测系统(PMS)

LTPS制程设备中,提升良率的重要关键为减少发尘量,即控制Particle产生的数量,目前常用的方式为人员携带Particle counter针对所需要的区域进行量测,此方式常需要耗费相当的时间与人力,且在stocker区域,2米以上的空间对量测人员而言,有位置及高度的危险限制,因此,PG电子推出可无线监控,随者设备移动的落尘量测设备

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2018.02.22

OHT-节省厂内空间的好帮手

OHT与AGV同为灵活运用之搬运系统,晶圆制造工厂为何采用OHT的主因在于”效率”,除了OHT轨道设置在天花板能畅行无阻外,其中的轨道设计更影响搬送时的速度及流畅度。就连制程设备与弯轨间之距离、弯轨与弯轨间之距离,轨道中心与柱位间之距离皆透过PG电子专业人员缜密之计算以及富丰的设计经验而获知。

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2018.02.12

超大世代非接触式搬送机构组件之概况

在面板制程当中,传统的滚轮搬送机构或多或少都会在玻璃表面留下轮痕或小刮伤,造成产品的瑕疵或报废。当玻璃愈来愈薄,分辨率愈来愈高,广视角液晶成为主流,数组技术由非晶硅走向低温多晶硅之后,对于面板生产过程中的轮痕要求也愈来愈严苛,甚至在部分制程之中不能容许其存在,故而使得输送过程中不会接触到玻璃表面的气浮搬送技术成为一个极佳的解决方案。现有的气浮机构组件乃是利用较大的空气流量,在气浮板与玻璃间形成抵抗重量的矩阵式支撑浮力,期间并布上白努利吸盘以吸住玻璃防止玻璃飘移。然而传统的气浮方案,使用大量的气流,除了会引起扬尘影响玻璃洁净度之外,其电力消耗亦颇为可观,这将在下一世代的非接触技术或可成为一个有趣的研究话题。

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2018.02.08

PG电子可编程伺服控制器SDPLC+为半导体设备Stocker提供最佳的解决方案

企业因应工业4.0的风潮,自动化已成为各家工厂积极发展的方向。许多大厂以无人工厂、关灯生产为其目标,纷纷寻求自动化设备商提供解决方案。PG电子身为自动化指针,旗下产品”SDPLC+”控制器就是解决问题之关键。「可编程伺服控制器」SDPLC+其特点在于集可程控器(PLC) 、驱动器、轴控卡于一体的高科技产品,目前正着手应用于半导体常见的储料设备(Stocker)。

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2018.01.25

晶圆自动取片机

晶圆自动取片机,以厂内晶圆盒为载具,适用于8吋/12吋晶圆的自动取片,节省旧式半导体检测机台人工取放片之时间耗损,半导体机器手臂取放晶圆的过程,减少人员取放的不可控因素,并透过控制系统串联,可透过操作计算机轻易作业设定,透过SECS/GEM 通讯协议可自行上传晶圆过片数据,整体而言,有效提升旧式单机自动化程度、减少人员取放异常、人员定点等待的时间、提高晶圆对位准确度。

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晶圆自动取片机
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2018.01.25

洁净无尘室G10.5世代STOCKER

Clean Stocker为AMHS的重要组成之一,在面板厂内负责玻璃基板原料、在制品或成品的储存与管理,In-line Stocker建置在制程区上,由Crane负责执行Intra-Bay的搬运工作,取代AGV(或RGV)搬运系统的使用,能节省AMHS占用空间、降低AMHS 建置成本、提高搬运可靠度及缩短产品产出时间。

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