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2022.12.06

半导体高阶封测-Bumping制程AMHS系统解决方案

PG电子官方平台为台湾最具规模的自动化公司,同时也具备智能工厂、物流中心、显示屏及半导体AMHS系统导入能力的系统集成商。1989年创立至今,持续以稳定可靠的整厂自动化能力,大幅提高企业客户的竞争力,并随着工业4.0的趋势加上5G时代的来临,让工业自动化的浪潮开始朝向新的概念发展。有鉴于上述的趋势,PG电子加速在各领域尤其半导体产业的全方位解决方案落实,奠基于显示屏领域的经验累积,加上坚强的研发工程团队,已能为客户量身打造符合半导体产业的智能搬送设备系统,并且秉持着以「智能、节能、可靠、耐用」的理念持续将整体FAB运用效益极大化。
近年来随着半导体的生产及封装技术日新月异,因此更需要求其效能、质量及产能的提升,在高度管理下的无尘室内,搬送及储存设备不仅要避免产尘,并且需要在高度自动化的生产过程中拥有绝对的可靠性。因此半导体产业导入整厂AMHS系统是势在必行的首要目标。PG电子近年来锁定半导体高阶封装制程领域深耕发展,以下为Bumping制程全厂AMHS系统之评估及解决方案。
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PG电子官方平台于Bumping制程AMHS解决方案如下:
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搬送方案 : FOUP OHT 空中走行式无人搬运车
※Bumping工艺多道制程需重复来回执行(电浆余膜、清洗、曝光显影、涂布) 搬送需求高,透过OHT悬吊式空中搬运系统,有效的利用制程设备的上方空间,架设轨道以及运输升降机构。轨道长度可由从数百公尺至数十公里,配合客户需求将晶圆盒(FOUP) 在不同的制程区间或是跨厂区栋别进行串连搬送。
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解决方案:
  • 提高整场跨区搬送效率。
  • 增加平面空间利用率。
  • 搭配高架缓存模块,增加空中单元格位数,提高立体空间利用率。
搬送方案 : MR AGV  无人搬运车
※Bumping后段制程的AOI、产品测试搬送速度要求较低。在成本及效率综合考虑下可导入无人搬运车AGV系统,AGV正是规划智动化工厂蓝图中重要的一环,其主要优势除了可以有效提升整体工厂效率、大幅减少工厂对于劳动力的需求外,更可以有效降低营运成本。
解决方案:
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  • 相较于OHT天车系统,成本较低。
  • 机动性较高,可适应畸零地型。
  • 减少人员作业投入,增加效率。
储存方案 : FOUP Stocker 晶圆盒密集储存系统
※Bumping制程中电镀、固化制程tact time长,需要于周边设置暂存设备。这时可以透过洁净室搬送系统Stocker的导入来进行产品入出库管理,FOUP Stocker可令厂房仓储空间更充分的应用,辅以自动化系统控管入出库,更能减少人员误操作的发生率,进一步实现自动化的愿景。
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解决方案:
  • 将宽度设计在1440mm内,增加空间利用率。
  • UPH及Cycle time符合Fab厂之生产需求。
  • 符合SEMI S2 认证,能做到高洁净度及低震动的设计。
储存方案 : ZIP Stocker 晶圆储存设备
※PG电子官方平台开发的ZIP Stocker储存设备为模块化设计,可应用于Fab厂畸零地型,且具备多功能投料口设计,以达到全方位整合Manual Port、AGV Port的各项功能;并附加了氮气自动填充功能,可确保Foup内晶圆的储存良率及完整性,拥有更多元及弹性的利用价值。
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解决方案:
  • 可因应光罩POD/FOUP/其他载具进行设计。
  • 拥有丰富的配置,可加N2、Sorter功能。
  • 符合SEMI S2 认证,能做到高洁净度及低震动的设计。
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