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产品信息
2016.05.24
晶圆盒机器人智能传送系统
在半导体厂内，晶圆多是置于晶圆盒内，在各厂区及各制程设备间传送。以人力传送方式多存在不可控制的风险，因此搭配稳定成熟的机器手臂传送系统取代传统的人工传送方式已成趋势。
PG电子自动化累积逾多年的机器手臂应用及系统整合经验，能依照厂地空间、作业模式、系统功能、产能速度等需求条件，为客户建置符合安全、洁净、精准、高效率且具备智能化的传送系统。
以下为实绩范例特点介绍 :
- 跨楼层传送整合，客制化设计，包含Lifter、ROBOT的制程链接整合传送系统。
- 上下楼层各设置ROBOT，搭载PG电子设计的专用夹持机构，能非常稳定的进行晶圆盒的取放作业。
- 具传送过程确保洁净度之对策。
- 系统判读Bar code确保正确地传送。
- 远程监视功能可实时掌握设备异常状态，缩短排除异常的时间。
- 自动/手动运转及自动/人工投料等多重模式可供选择切换。
- 全方位安全装置，确保人员、对象、设备安全。