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产品信息
2016.11.07
OHS-自由换轨的转向机构
PG电子为六代LTPS制程开发OHS车辆搬运系统(Over Head System)，以验证Class 10 0.1um洁净度需求设置。
OHS 为Stocker外围整合的重要角色，主要负责每一座Stocker制程与成品的运送与管理，其运送物为玻璃卡匣(Cassette)，在Stocker之间运送全由高架组成，节省AMHS 占用空间、降低AMHS 建置成本、提高搬运可靠度及缩短产品产出时间，实现Class 10 0.1um洁净度控制。
OHS 为Stocker外围整合的重要角色，主要负责每一座Stocker制程与成品的运送与管理，其运送物为玻璃卡匣(Cassette)，在Stocker之间运送全由高架组成，节省AMHS 占用空间、降低AMHS 建置成本、提高搬运可靠度及缩短产品产出时间，实现Class 10 0.1um洁净度控制。
本设备主要配置为OHS 车体、转向机构及轨道系统，OHS车辆搬运系统主要为车体结构及2组可回转的转向车架，在分歧处以转向机构夹持轨道，以达成分歧过弯的功能，并且能避免产生灰尘，以达到洁净度的要求。该转向机构可决定车辆直行或在分歧处转弯，使长程运送的过程中，车辆可以选择分岐处作为折返的功能，大幅缩减车辆循环运行所需的时间，并提高稼动率。