LTPS制程设备中，提升良率的重要关键为减少发尘量，即控制Particle产生的数量，目前常用的方式为人员携带Particle counter针对所需要的区域进行量测，此方式常需要耗费相当的时间与人力，且在stocker区域，2米以上的空间对量测人员而言，有位置及高度的危险限制，因此，PG电子推出可无线监控，随者设备移动的落尘量测设备，无线监控落尘量测系统(PMS-Particle Measuring Systems简称PMS)，PMS特点为Cassette外型，可随者设备移动至任何需要量测的地点， PMS除可量测Particle数据外，也同时搭配振动量测的加速规与风速计、温湿度计等数据计器，由于Particle counter置于等同cassette大小尺寸的框体，可延伸量测cassette多点位置，藉由得知放置于cassette内的玻璃，各个位置点的落尘数值，PMS嵌入式系统负责讯号收集，并响应 Client 端的要求实时回传数据，获得的数据数据，可转换成图形分析，在各设备间的落尘收集、分析、大数据等用途上，PMS提供更便捷、及时、完整数据的解决方案。