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后段封装半导体厂房产线多数空间有限,为有效活化设备周围可用畸零空间,提升卡匣储存空间,PG电子自动化以多年洁净室自动化搬送经验,提出洁净室Tower Stocker 视为一有效解决方案,现有Stoker占地空间可缩小如同电梯用地,并善用Stoker 主机升降取放能力,升降每分钟120m/min 速度,进行跨楼层传送,设备高度设定限制于24m内,相较一般无尘室电梯,更提供储物空间作为暂存,并加入气流控制、设计,依旧维持高洁净度要求。
无尘室Tower Stocker与一般无尘室STK/电梯比较:
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